Vakuum - vše o vakuum
Jaké rozsahy má vakuum? rozsahy vakua
- Nízké vakuum: 760 - 25 Torr 100 kPa - 3,3 kPa
- Střední vakuum: 25 - 1 × 10-3 Torr 3,3 kPa - 130 mPa
- Vysoké vakuum: 1 × 10-3 - 1 × 10-6 Torr 130 mPa - 130 ìPa
- Velmi vysoké vakuum: 1 × 10-6 - 1 × 10-9 Torr 130 ìPa - 130 NPA
- Ultra vysoké vakuum: 1 × 10-9 Torr a méně 130 NPA a méně
Vysoké vakuum se vytváří turbomolekulárními, difúzními, sorbčními nebo iontovými vývěvami
Vysoké vakuum poskytuje ještě delší volné dráhy, a používá se proto hlavně v elektronice: vakuové elektronky a obrazovky, výroba polovodičů a podobně. Vytváří se turbomolekulárními, difúzními, sorbčními nebo iontovými vývěvami. Vyžaduje už používání vakuově kompatibilních materiálů a těsnění.
