Vysoké vakuum se vytváří turbomolekulárními, difúzními, sorbčními nebo iontovými vývěvami
Vysoké vakuum poskytuje ještě delší volné dráhy, a používá se proto hlavně v elektronice: vakuové elektronky a obrazovky, výroba polovodičů a podobně. Vytváří se turbomolekulárními, difúzními, sorbčními nebo iontovými vývěvami. Vyžaduje už používání vakuově kompatibilních materiálů a těsnění.